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原始的ITO的玻璃是在玻璃基板上覆盖一层ITO膜。要在ITO玻璃上做出图形，先要涂上一层感光抗蚀材料（光刻胶），然后将有图形的掩膜版覆盖在光刻胶玻璃上。光刻掩膜版的图形是由黑白两种状态组成，黑色不透光，白色透光。在覆盖有掩膜版的玻璃上曝光时，光刻胶发生变化，受光部分经显影溶解掉，露出ITO膜，再将露出的ITO膜蚀掉，最后ITO玻璃上形成了与掩膜版完全一致的ITO图形。
