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ITO图形的蚀刻

发布时间:2014-07-27

  中山市锦润电子生产LCD液晶显示屏,现简单介绍前工序ITO蚀刻的流程及参数:

    1,ITO玻璃的投入:根据产品的要求 ,选择合适的ITO玻璃装入传递其中,要求ITO玻璃的规格型号符合产品要求,切记ITO层面一定要向上插入篮中,

   2,玻璃的清洗与干燥:将用清洗衣剂以及离子水(DI)等洗净ITO玻璃,并用物理或者化学的方法将ITO表面的杂质和油污洗衣净然后把水并干燥,保证下道工艺的加工质量。

  3,涂光刻胶:在ITO玻璃的导电支面上均匀涂上一层光刻胶,涂过光刻胶的玻璃在一定温度下任预处理:

  4,前烘:在一定的温度下将涂有光刻胶的玻璃表面粘附性。

  5,日光:用紫外光(UV)通过预先制作好的电极图形掩模版