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曝光

发布时间:2014-07-27

曝光:用紫外光(UV)通过预先制作好的电极图形掩模版

照射光刻胶表面, 使被照光刻胶层发生反应,在涂有光刻胶

的玻璃上覆盖光刻掩模版在紫外灯下对光刻胶进行选择性